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	Dr. Lee-Jene Lai (賴麗珍) E-mail: jene@nsrrc.org.tw TEL: +886-3-5780281 Ext. 7318
	Dr. Zi-Jing Lin (林子敬) E-mail: lin.zj@nsrrc.org.tw TEL: +886-3-5780281 Ext. 7204
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	Mo Da-Sang Hua (華莫達桑) E-mail: hua.andz@nsrrc.org.tw TEL: +886-3-5780281 Ext. 2242
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• Energy Range: 260-2,600 eV
• Focused Spot Size: 20 ~ 30 nm in 2D imaging; 50 nm in 3D imaging
• Status: under construction